西蓉北郊。

西南特zhong电气工业公司。

虽然六月末的西蓉，天气十分酷热。

但为了热烈huan迎，远dao而来的樱hua半导ti考察团。

shen为公司总经理的汪学斌。

还是无惧炎热，带着公司高层，在办公楼前列队等候。

之所以如此热忱。

当然因为他对这一次的合作jiaoliu，抱有非常大的期望。

公司虽然从事工业气ti研制生产很多年。

但过去市场需求有限、销售业绩不高，也不太可能下大力气进行相关技术研究。

谁也没想到……

这两年龙国的制造业，像是坐上了火箭似的，增长势tou无比迅猛。

金属冶炼、石油化工、机械制造、食品加工、电子及半导ti、医疗qi械……

因为工业生产中不少环节，是不能直接暴lou于空气之中，需要特殊气ti参与反应。

所以制造业越发达，对工业气ti的需求量就越大。

如果只是需要常见的氦气、氮气、氧气、二氧化碳等等这些。

汪学斌还不至于那么tou疼。

毕竟这些常用工业气ti的加工制备，技术工艺早就相对成熟。

可问题是……

龙国的电子信息产业，发展速度太迅猛了。

为了追求高jing1度、高质量、高xing能，电子信息产业，对工业气ti不仅需求量很大，要求还很高。

哪怕只是生产ye晶显示面板所需要的氮气、氦气、氧气和氢气，纯度都要比食品工厂的高很多。

于是乎。

有关bu门就将工业气ti，分成了大宗气ti和特zhong气ti这两大类。

将用于满足冶金、化工、机械制造等普通工业生产的大宗气ti研制任务，从公司剥离了chu去。

让公司专门负责，研究生产用于满足集成电路、ye晶面板、医疗仪qi、芯片制造的特zhong气ti。

这个任务，真是光荣又艰ju啊！

光荣在于研制特zhong气ti，有力支撑龙国的高端制造业发展，是利国利民的一件大好事。

艰ju在于特zhong气ti，是真不好研制。

就拿生产芯片来说。

从最开始制造硅片，将高纯度硅拉单晶、磨外圆、切片、倒角、磨削等等制造成晶圆，就需要大量使用高纯度的氯化氢、氢气和氩气了。

而开始进行光刻加工的时候，需要氟气、氪气、氖气等好几zhong特zhong气ti。

刻蚀清洗，除了常用的几zhong特zhong气ti，还需要溴化氢、氯化氢、二氟甲烷、三氯化硼、六氟化硫等等二十几zhong。

离子注入的时候，又需要氟化砷、四氟化硅、氙气等。

掺杂之时要乙硼烷、砷化氢，以及不少han硼磷砷的三族及五族原子之气。

除此之外，还有很多工艺环节，都还需要相应的特zhong气ti。

林林总总加一起。

要想生产高xing能的合格芯片，竟然需要一百多zhong特zhong气ti。

需要的特zhong气tizhong类多，都还不算什么难事。

真正让人tou疼的，是这些特zhong气ti的纯度要求太高了。

用于普通工业生产的大宗气ti，纯度只要达到了99.99%，就已经很不错了。

而用于电子科技产品的呢？

哪怕只是生产6寸以下、不低于0.25微米线宽的晶tiguan和晶闸guan，纯度都要百分之九十九点九九九。

而要生产大规模集成电路、特殊电子元qi件、纳米级线宽大尺寸芯片，需要的纯度，必须高于百分之九十九点九九九九。

特zhong气ti的纯度越高，越有利于芯片加工生产，可以大大提高芯片的良品率。

可是纯度已经很高的气ti，再想进一步的提纯，难度实在是太大了。

就像一张满分是一百的试卷。

从六十分及格，努力学习考到九十分并不难，因为提升空间很大。

再努努力，从九十分提升到九十五分，也并非不可能。

但九十五分以上，想一题不错的考个满分，就真是太难了。

什么电解法、化学法、xi附法、jing1馏法等等，各zhong方式方法看似不少。

但不同的方法，需要不同的设备和工艺，里面的门dao实在是太多了。

就像同样是电解法，需要的直liu电应该多大电liu？多高电压？作用多长时间才能确保氧化还原最佳？

而用化学法提纯六氟化钨、三氯氢硅等，又需要用什么样的cui化剂、在怎样的容qi中进行反应？

而且xi附法制备六氟丁二烯、高纯砷烷等气ti，xi附装置、xi附材料、chui扫设备等等，也需要很考验技术功底。

至于mo分离、气ti分离、冷冻分离、cui化分离等等手段，对没从事过